变电容式三轴加速度传感器

变电容式三轴加速度传感器

产品型号:

MSV9000



性能指标

性能参数 单位 MSV9000-15 MSV9000-50 MSV9000-100 MSV9000-200
量程 g ±15 ±50 ±100 ±200
零偏 V 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05 2.5±0.05
零偏稳定性 mg <1 <1 <1 <1
零偏重复性 mg <1 <3 <5 <10
标度因数 mV/g <133.33±5 <40±1 <20±1 <10±1
标度因数温度系数 ppm/℃ 0~300 0~300 0~300 0~300
标度因数非线性 %FS <0.5 <0.5 <0.5 <0.5
交叉耦合 %
带 宽 ( - 3 d B ) HZ 0~2500 0~3000 0~5000 0~5000
带 宽 ( ± 5 % ) HZ 0~550 0~1500 0~2000 0~2000
信噪比 μV/√Hz <10 <10 <10 <10
分辨率 mg 1.5  2.5  5.0  5.0 
外形尺寸 mm×mm×mm 9.0×9.0×2.7
封装   陶瓷封装(LCC20)
输出形式   模拟电压输出
工作电压范围 V  4.9~5.1(典型值5)
工作温度   -45~85
储存温度   -55~125

应用领域

● 惯性测量:惯性制导、组合导航、过载测量

● 倾斜测量:天线测姿、平台测量、倾角测试

● 振动测量:机械设备、桥梁大坝、安全测试

外形尺寸及接线定义

引脚 定义 说明
Vout_X X轴输出
Vout_Z Z轴输出
10  Vout_Y Y轴输出
11  Vdd 供电
12  Vdd_ref 连接至11引脚
14  Fsource 连接至15引脚
15  GND

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